深圳大学单片旋转式清洗机意向公开

采购单位:深圳大学

项目名称:单片旋转式清洗机

预算金额（元）:3,500,000.000

采购品目:电子工业生产设备

采购需求概况:采购晶圆清洗设备，主要用于去除晶圆表面在各道工艺中残留的颗粒、金属、有机物等污染物。要求至少能满足 散片/2/4/6/8寸晶圆，以及 3/5/6/7寸掩膜版的清洗，支持瓷碟清洗。

预计采购时间:2026-7

联系人:党老师

联系电话:075589837623

备注:无

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准

源网址：http://zfcg.szggzy.com:8081/gsgg/002001/002001001/002001001002/20260427/207eba0b-e36b-433c-afab-5e67e9b4dfb7.html