深圳大学种子层金属原子层沉积意向公开

采购单位:深圳大学

项目名称:种子层金属原子层沉积

预算金额（元）:5,050,000.000

采购品目:真空应用设备

采购需求概况:拟采购种子层金属原子层沉积（ALD）设备一台，主要用于高深宽比微结构的金属种子层薄膜沉积。核心需求：具备优异的台阶覆盖率（≥95%）与极佳的成膜均匀性，实现原子级厚度精准控制；配备高稳定性的前驱体输送及温控系统，腔体需具备优异的颗粒污染控制能力；兼容SECS/GEM协议，供应商需提供长期的工艺指导及快速响应的维保服务。

预计采购时间:2026-7

联系人:刘老师

联系电话:075589837623

备注:无

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准

源网址：http://zfcg.szggzy.com:8081/gsgg/002001/002001001/002001001002/20260427/649e3385-852c-4da5-9a02-e5d7f1035fb9.html