深圳大学干进干出化学机械抛光机意向公开

采购单位:深圳大学

项目名称:干进干出化学机械抛光机

预算金额（元）:4,750,000.000

采购品目:电子工业生产设备

采购需求概况:4/6/8英寸晶圆化学机械抛光，实现晶圆干进干出，盘间自动传输晶圆，配有研磨液供液机。

预计采购时间:2026-7

联系人:党老师

联系电话:075589837623

备注:无

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准

源网址：http://zfcg.szggzy.com:8081/gsgg/002001/002001001/002001001002/20260427/5b95b29f-1141-4dd4-bcb7-60fac2ccd138.html