| 采购需求概况: | "原子力显微镜能够观测样品表面微区的三维形貌，获得表面粗糙度等信息，同时还可实时对样品表面的多种物理特性进行研究。
椭偏仪是一种无损非接触、快速的光学测量仪器。能够测量纳米级的膜厚变化，材料的不同组分掺杂。
薄膜应力仪用于测试薄膜的热力学性能和稳定性特性。通过半导体材料镀膜前后衬底弯曲的变化，计算出材料应力大小。
探针式表面轮廓仪用于薄膜材料厚度和表面轮廓形貌测量。可获得精确定量的台阶高度、线粗糙度，面粗糙度、等薄膜几何参数。
厚度光学量测仪采用无损非接触式光学测量薄膜厚度，基本大部分的薄膜样品都可以测量。
光学显微镜主要是通过物镜光学放大，观察芯片或材料细微瑕疵，可对样品瑕疵做拍照测量等数据分析。" |
