一、采购单位：集成电路学院

二、项目名称：玻璃片及光刻胶采购

三、公开信息：

1.货物名称：玻璃晶圆6寸BF33双抛片和光刻胶AZ6112

2.数量：110片,1.5加仑

3.关键技术指标：晶圆 Ra<1nm ,厚度725nm,bow<50um

4.预算金额：58,000.00元

5.拟成交供应商：广东中科半导体微纳制造技术研究所

6.拟成交价格：58,000.00

集成电路学院

2026年11月09日