一、采购单位：实验室与国有资产管理部

二、项目名称：磁控溅射样品台上偏压维修

三、公开信息：

1.服务内容：1、溅射样品台上偏压维修 2、镀膜主体腔室分子泵保养、腔体保养

2.服务期限：1年

3.预算金额：99,000.00元

4.拟成交供应商：昆山矽创科技有限公司

5.拟成交价格：97,600.00

实验室与国有资产管理部

2026年11月09日