| 采购单位: |
深圳大学 |
| 项目名称: |
玻璃旋转清洗及多腔匀胶显影系统 |
| 预算金额（元）: |
9,280,000.000 |
| 采购品目: |
电子工业生产设备 |
| 采购需求概况: |
板级自动旋转式清洗机能够针对大尺寸非圆基板进行清洗，主要对基板表面非有机物颗粒进行清洗去除，达到工艺需求。相比传统基板级清洗设备，该设备能够兼容更大尺寸（515mm×510mm尺寸基板）。多腔全自动匀胶显影机使用于6/8寸晶圆，适配Si、Glass的材质，适应5mm以下翘曲晶圆或超薄晶圆传送和涂胶显影工艺。 |
| 预计采购时间: |
2025-5 |
| 联系人: |
党老师 |
| 联系电话: |
15556306662 |
| 备注: |
无 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准
源网址：http://zfcg.szggzy.com:8081/gsgg/002001/002001001/002001001002/20250424/2474f30b-070e-42a6-9f14-726d6099af21.html
