| 采购单位: |
深圳大学 |
| 项目名称: |
甲酸回流刻蚀系统 |
| 预算金额（元）: |
9,150,000.000 |
| 采购品目: |
电子工业生产设备 |
| 采购需求概况: |
甲酸回流刻蚀系统需深度融合无氧环境控制、多材料改性、智能参数调控与数据驱动优化技术，构建半导体异质异构集成核心装备。系统通过自动甲酸回流机（支持6/8英寸晶圆，氧浓度动态控制≤20ppm）实现高可靠性互连，结合板级槽式玻璃通孔蚀刻机（30-150μm孔径灵活加工）的蚀刻控制，及强酸供液系统（30L/min高效供液）的精准化学管理，形成从材料键合到结构成型的全链条解决方案。 |
| 预计采购时间: |
2025-5 |
| 联系人: |
张老师 |
| 联系电话: |
15918471238 |
| 备注: |
无 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准
源网址：http://zfcg.szggzy.com:8081/gsgg/002001/002001001/002001001002/20250424/0808620c-a572-4d27-bb26-3607c9d54405.html
