| 采购单位: |
深圳大学 |
| 项目名称: |
自动玻璃通孔专用溅镀机 |
| 预算金额（元）: |
7,400,000.000 |
| 采购品目: |
真空应用设备 |
| 采购需求概况: |
该溅镀机专用于玻璃通孔（TGV）的金属化工艺，需满足高深宽比（≥10:1）通孔的均匀镀膜要求。设备需支持硅中介层（Interposer）及玻璃基板（510mm×515mm）的溅镀工艺，兼容8英寸晶圆及更大面板级加工需求。需实现多层金属堆叠（如Ti/Cu、Cr/Cu、Ta/Cu等）的连续溅镀，确保薄膜的高附着力、低应力及优异台阶覆盖率（≥80%）。 |
| 预计采购时间: |
2025-5 |
| 联系人: |
张老师 |
| 联系电话: |
17671047241 |
| 备注: |
无 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准
源网址：http://zfcg.szggzy.com:8081/gsgg/002001/002001001/002001001002/20250424/5a214132-b1cc-4ab8-b85c-22c10cafd18b.html
