| 采购单位: |
深圳大学 |
| 项目名称: |
双光子灰度光刻机 |
| 预算金额（元）: |
6,800,000.000 |
| 采购品目: |
激光仪器 |
| 采购需求概况: |
双光子灰度光刻机具有高精度三维加工能力、灰度光刻技术及多材料兼容性，为前沿科学研究提供了重要支撑。覆盖光学、材料、生物医学、电子、仿生学等多个领域，用于加工横向线宽≤100 nm，表面粗糙度≤5 nm的三维结构，并且具有自动对准及倾斜拼接技术，满足半导体、光学、超材料等领域对复杂微纳器件的需求。 |
| 预计采购时间: |
2025-4 |
| 联系人: |
王老师 |
| 联系电话: |
0755-86573795 |
| 备注: |
无 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准http://zfcg.szggzy.com:8081/gsgg/002001/002001001/002001001002/20250325/089f4a55-39e7-4c48-bb6a-d2e4ba294680.html
