| 采购单位: |
深圳大学 |
| 项目名称: |
超高真空剥离工艺镀膜设备 |
| 预算金额（元）: |
2,600,000.000 |
| 采购品目: |
真空应用设备 |
| 采购需求概况: |
超高真空剥离工艺镀膜设备是基于物理气相沉积技术的一种镀膜设备。拟采购设备兼容6英寸以下样品，6英寸范围内厚度均匀性优于±3%。配置高性能电子枪，支持多种材料的连续蒸镀，镀膜腔体极限真空度优于5×10⁻⁹ Torr，配置样品台的水冷功能（5℃ - 25℃ 可调），保证光刻胶剥离工艺中能有效控制衬底温度，防止光刻胶碳化，实现实时可控的高精度薄膜制备。原厂免费保修期3年。 |
| 预计采购时间: |
2025-4 |
| 联系人: |
林老师 |
| 联系电话: |
0755-26946823 |
| 备注: |
无 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准http://zfcg.szggzy.com:8081/gsgg/002001/002001001/002001001002/20250325/93400b91-c204-4a0a-b910-d7a5a928a758.html
