深圳大学临界点微纳结构干燥仪意向公开

采购单位:深圳大学

项目名称:临界点微纳结构干燥仪

预算金额（元）:1,600,000.000

采购品目:其他分离及干燥设备

采购需求概况:现计划采购一台临界点干燥设备，主要用于处理复杂结构的MEMS、晶圆、微纳材料、生物材料等材料的临界点干燥，保持样品的内部微观结构不坍塌，不变形，不破坏。

功能要求：设备全自动运行，满足6英寸及其以下尺寸的晶圆干燥处理，每次运行能处理多片6英寸晶圆以及适配6英寸以下晶圆及散片；确保干燥过后不存在颗粒污染样品；确保样品室内能快速降温达到临界点进行干燥。

预计采购时间:2026-6

联系人:刘老师

联系电话:15019470059

备注:无

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准

源网址：http://zfcg.szggzy.com:8081/gsgg/002001/002001001/002001001002/20260507/949ac658-6bd2-43a6-bbfd-6f837cc801eb.html