深圳大学三维光学轮廓仪意向公开

采购单位:深圳大学

项目名称:三维光学轮廓仪

预算金额（元）:1,950,000.000

采购品目:光学计量仪器

采购需求概况:深圳大学光电中心定位于微纳加工，器件工艺等方面的应用研究，具备光刻-刻蚀-镀膜-表面形貌检测的完整工艺链条，样品涵盖微纳尺度下的光子集成器件、超构表面及功能性光学薄膜等多种样品。

功能要求：1、可实现包括半导体材料、芯片、封装等大面积样品表面形貌的无接触快速精准拼接检测。2、z轴方向实现纳米级别高度测量，具备翘曲度、平面度、共面度分析等功能。3、具备共面度，平整度，台阶高度和粗糙度的自动分析工功能，共面度标准分析模块。4、能够配合中心双光子加工等光刻备实现各种光刻样品的检测。5、要求设备稳定，工艺重复度高且易于后期维护。

主要技术参数：

1.机型为大型干涉仪龙门支架，可拆卸，采用非接触式光学测量技术的测头系统：同时具备共聚焦、白光干涉（CSI）、相位差干涉（PSI）、增强型相位差（EPSI）多焦面叠加测量技术，且光路设计不含转盘等振动或运动部件，保证设备运行和测量的稳定性。

2.光源类型：LED红光 (630 nm); 绿光 (530 nm); 蓝光 (460 nm)和白光 (575 nm)

3.具备升级五轴测量系统接口

4.具备锆钛酸铅（PZT）压电陶瓷

5.RMS重复精度≤0.007nm

6.电动载物台自动倾斜调平功能

7.最大拼接张数⩾175张*175张，大幅拼接图片像素值⩾5亿

8.提供主动式电磁阀防震系统

预计采购时间:2026-6

联系人:林老师

联系电话:0755-26946823

备注:无

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准

源网址：http://zfcg.szggzy.com:8081/gsgg/002001/002001001/002001001002/20260507/d69dee3e-f872-44a0-9d99-ae2226167b2a.html