| 采购单位: |
深圳大学 |
| 项目名称: |
深硅刻蚀及生长系统 |
| 预算金额（元）: |
31,700,000.000 |
| 采购品目: |
电子工业生产设备 |
| 采购需求概况: |
旨在大尺寸硅晶圆片上通过刻蚀实现具有高深宽比，良好侧壁垂直度和侧壁光洁度的通孔；并在高深宽比结构上快速均匀沉积介质和金属薄膜。质量上要求设备稳定耐用，服务方面需提供全面的技术支持与售后服务。安全上，确保操作安全与设备防护，时限上要求合同签订后迅速完成交付与调试，以保障项目按时推进。 |
| 联系人: |
党老师 |
| 联系电话: |
15013796696 |
| 预计采购时间: |
2024-09 |
| 备注: |
无 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准
源网址：http://zfcg.szggzy.com:8081/gsgg/002001/002001001/002001001002/20240829/dff86c44-cde2-485b-9d1c-5f936fd47cdf.html
