| 采购单位: |
深圳大学 |
| 项目名称: |
Si抛光及清洗系统 |
| 预算金额（元）: |
4,850,000.000 |
| 采购品目: |
电子工业生产设备 |
| 采购需求概况: |
利用抛光液和抛光垫对硅/二氧化硅表面进行机械化学抛光，去除表面不平整和损伤层，为后续工艺步骤如光刻、刻蚀等提供高质量衬底。通过精确的抛光液供给，实现抛光过程精确控制，确保一致性和稳定性；合适的抛光垫材质和驱动参数可显著提高抛光效率和抛光质量，减少划痕和损伤。实现深度清洗，去除微小污垢和残留物，同时保持平整度和光洁度。通过纯水漂洗，确保清洁度达到工艺要求，避免后续工艺的交叉污染。需满足高质量抛光及清洗功能，满足安全操作和智能使用，保证1年免费质保服务。 |
| 联系人: |
袁老师 |
| 联系电话: |
13760215354 |
| 预计采购时间: |
2024-09 |
| 备注: |
无 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准
源网址：http://zfcg.szggzy.com:8081/gsgg/002001/002001001/002001001002/20240828/fe5f3800-01f8-4502-9ec2-14a42b018d84.html
