采购公告

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2023/08/16 22:09:00

采购单位:	深圳大学
项目名称:	光刻配套系统
预算金额（元）:	2,130,000.000
采购品目:	电子工业生产设备
采购需求概况:	该套系统由显影机、匀胶机、烤胶机、晶圆甩干机、超声清洗机、通风厨组成。超声清洗机利用超声破坏污物与晶圆间的吸附，达到清洗的目的；晶圆甩干机晶圆清洗后干燥设备；匀胶机利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上，以便进行光刻曝光；显影机用于掩膜版上的图案复刻在晶圆上，通过溶解光刻胶使图形进行复刻；通风厨保护操作人员不受化学药品、气体的污染，该系统能够应用于光刻前后的工艺实施操作。
联系人:	王老师
联系电话:	0755-86936607
预计采购时间:	2023-09
备注:	无

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准