一、采购单位：微纳光电子学研究院

二、项目名称：微纳加工实验耗材采购

三、公开信息：

1.货物名称：氧化硅片：4 寸单抛，N100，电阻率 0.002-0.004，厚度 500+-10um，氧化层厚度 300+-10nm 蓝宝石：4 寸，单抛，C 即 C-M 0.2°，厚度 400+-10um 光刻胶：PMGI-SF6 光刻胶：AZ 6130 光刻胶：AZ MIR 701 (14cp) 去胶液：NMP，4L / 瓶 显影液：ZX-238，4L / 瓶

2.数量：1批

3.关键技术指标：电阻率 0.002-0.004，厚度 500+-10um，氧化层厚度 300+-10nm；C 即 C-M 0.2°，厚度 400+-10um

4.预算金额：80,750.00元

5.拟成交供应商：西安博研微纳信息科技有限公司

6.拟成交价格：80,750.00 元

微纳光电子学研究院

2026年10月30日