一、采购单位：集成电路学院

二、项目名称：干进干出化学机械抛光机-供液柜

三、公开信息：

1.设备名称：干进干出化学机械抛光机-供液柜

2.数量：1

3.关键技术指标：储液容量：10L 搅拌方式：单浆搅拌，搅拌转速0-1500rpm 供液口数量：2

4.预算金额：90,000.00元

5.拟成交供应商：川盈半导体科技（苏州）有限公司

6.拟成交价格：90,000.00 元

集成电路学院

2026年10月29日