一、采购单位：集成电路学院

二、项目名称：可加热型晶圆级吸盘

三、公开信息：

1.货物名称：可加热型晶圆级吸盘（100*100mm）；可加热型晶圆级吸盘（8寸晶圆）

2.数量：1；4

3.关键技术指标：1.定位精度 1um；2.材料选择适配广10³*10³ cps；3.最小打印尺寸 1um，最高精度 ±0.5um

4.预算金额：94,220.00元

5.拟成交供应商：西湖未来智造（杭州）科技发展有限公司

6.拟成交价格：94,220.00 元

集成电路学院

2026年10月16日