一、采购单位：集成电路学院

二、项目名称：气体耗材

三、公开信息：

1.货物名称：气体耗材

2.数量：1

3.关键技术指标：三氟甲烷：AL-CHF3-47L-5N5；八氟环丁烷：AL-C4F8-47L-5N；六氟化硫：AL-SF6-5N5-47L；超纯氢气集格：AL-H2-6N*16-50L；氯混气：AL-HCLMIX-47L

4.预算金额：90,100.00元

5.拟成交供应商：佛山市科的气体化工有限公司

6.拟成交价格：90,100.00 元

集成电路学院

2026年09月29日