一、采购单位：物理与光电工程学院

二、项目名称：等离子射频电源

三、公开信息：

1.货物名称：等离子射频电源，中环DLZ-60H

2.数量：1

3.关键技术指标：额定功率600W，频率13.56MHz，谐波抑制：≤‑50 dBc

4.预算金额：61,000.00元

5.拟成交供应商：深圳市忆鑫科技有限公司

6.拟成交价格：61,000.00 元

物理与光电工程学院

2026年09月17日