一、采购单位：电子与信息工程学院

二、项目名称：TSV工艺尾气预处理单元

三、公开信息：

1.货物名称：TSV工艺尾气预处理单元

2.数量：1

3.关键技术指标：空开50A 1个；波纹软管ISO100 SS316L BA；Tube 管道 4" SS304 BA；压力表；DN15 Y型过滤器 等。可处理CHF3、C4F8、SF6、CF4、NH3等气体，处理效率均≥99%。

4.预算金额：92,037.50元

5.拟成交供应商：浙江深微科技有限公司

6.拟成交价格：92,037.50 元

电子与信息工程学院

2026年08月13日