一、采购单位：机电与控制工程学院

二、项目名称：TSV电镀液

三、公开信息：

1.货物名称：TSV基础开缸剂以及三种添加剂

2.数量：65L

3.关键技术指标：本次采购的TSV电镀液体系需满足半导体级纯度要求（金属杂质含量低于10 ppm，颗粒物经0.2 μm及以下孔径过滤），基础开缸剂具备稳定的铜离子、硫酸及氯离子浓度配比，三种添加剂（促进剂、抑制剂、整平剂）应具备良好的协同作用，能够实现高深径比TSV深孔的无空隙填充，并保证沉积层均匀性及表面平整度；电镀液需在常温至中温范围内保持性能稳定，兼容现有实验电镀设备，且批次间重复性良好，满足科研实验对工艺一致性和可靠性的基本要求。

4.预算金额：85,000.00元

5.拟成交供应商：深圳市华傲星创生化技术有限公司

6.拟成交价格：85,000.00 元

机电与控制工程学院

2026年08月11日