一、采购单位：电子与信息工程学院

二、项目名称：光刻与键合定制夹具

三、公开信息：

1.设备名称：光刻与键合定制夹具

2.数量：5

3.关键技术指标：能支持4寸晶圆片的光刻和晶圆键合工艺

4.预算金额：149,000.00元

5.拟成交供应商：上海澈芯科技有限公司

6.拟成交价格：148,800.00 元

电子与信息工程学院

2026年06月11日