一、采购单位：电子与信息工程学院

二、项目名称：水平刻蚀系统

三、公开信息：

1.设备名称：水平刻蚀系统

2.数量：1

3.关键技术指标：加工玻璃尺寸：515*510mm; 工件厚度：0.3-1.5mm; 钛刻蚀速率：30~50nm/min; 最小线宽线距：10um/10um

4.预算金额：180,000.00元

5.拟成交供应商：广东芯微精密半导体设备有限公司

6.拟成交价格：179,000.00元

电子与信息工程学院

2024年12月04日