一、采购单位：机电与控制工程学院

二、项目名称：wafer精密供料系统

三、公开信息：

1.设备名称：86902-00000324

2.数量：wafer精密供料系统

3.关键技术指标：运动行程：X×Y：200mm×260mm，定位精度： ±5μm@ 3sigma，重复定位精度：±1μm 3sigma，重复定位精度：光栅尺分辨率 0.5µm，响应时间：＜0.2ms，速度： 3M/S MAX，加速度：5G MAX

4.预算金额：140,000.00元

5.拟成交供应商：深圳市科途创新技术有限公司

6.拟成交价格：135,160.00元

机电与控制工程学院

2024年11月28日