一、采购单位：电子与信息工程学院

二、项目名称：三同轴真空样品台

三、公开信息：

1.设备名称：三同轴真空样品台

2.数量：1

3.关键技术指标：直径4英寸；senor与guard绝缘电阻≥1TΩ ；低温耐受4k，高温耐受600k； 最小漏电精度：<100FA （真空穿墙triax接头@100pa current range of -200v - 200v）；chuck表面与背面最大温差≤0.5k

4.预算金额：166,000.00元

5.拟成交供应商：深圳市纳皮飞科技有限公司

6.拟成交价格：165,000.00元

电子与信息工程学院

2024年11月27日