一、采购单位：电子与信息工程学院

二、项目名称：靶材等耗材采购

三、公开信息：

1.货物名称：高纯铂 靶材 99.99%（中诺新材/φ75*1mm绑定φ79*3mm铜背靶）、二氧化铌 靶材 99.99%（中诺新材/φ75*3mm 绑定φ79*3mm铜背靶）、高纯钛 靶材 99.995%（中诺新材/上台阶φ75*3mm下台阶φ79*3mm）

2.数量：95g、50g、1片

3.关键技术指标：高纯铂靶材{纯度≥99.99%，密度高达21.45g/cm³，化学性质极稳定且抗氧化腐蚀}、 二氧化铌靶材{纯度≥99.99%，利用反应溅射制备高介电常数、高折射率的Nb₂O₅薄膜}、 高纯钛靶材{纯度高达99.995%（4N5），是半导体芯片中铜互连工艺的关键阻挡层材料}

4.预算金额：60,000.00元

5.拟成交供应商：中诺新材科技（深圳）有限公司

6.拟成交价格：55,745.75 元

电子与信息工程学院

2026年04月14日