一、采购单位：电子与信息工程学院

二、项目名称：介质刻蚀尾气处理系统

三、公开信息：

1.设备名称：介质刻蚀尾气处理系统

2.数量：1

3.关键技术指标：F基气体处理速度为200SLPM,处理效率达98%以上。

4.预算金额：195,000.00元

5.拟成交供应商：苏州超镪半导体科技有限公司

6.拟成交价格：195,000.00 元

电子与信息工程学院

2026年04月01日