一、采购单位：电子与信息工程学院

二、项目名称：硅通孔专用快速原子层沉积配件材料

三、公开信息：

1.货物名称：硅通孔专用快速原子层沉积配件材料

2.数量：1套

3.关键技术指标：304不锈钢管：直径50mm, AP级(酸洗钝化)；不锈钢蝶阀：材质：SUS304不锈钢；直径50mm；厚 度≥0.5mm 等

4.预算金额：98,505.55元

5.拟成交供应商：深圳市佳泰机电工程有限公司

6.拟成交价格：98,505.55 元

电子与信息工程学院

2026年02月10日