一、采购单位：电子与信息工程学院

二、项目名称：前驱体源系统

三、公开信息：

1.设备名称：前驱体源系统

2.数量：1

3.关键技术指标：（1) 加热源1路，载气辅助源1路； （2) 加热源：配备三孔ALD阀门(响应时间＜5 ms，阀体内置直径为1/8英寸加热器，温度范围RT-200℃)、源手动阀、不锈钢源瓶(50 mL)，源瓶温度范围RT-200℃；

4.预算金额：125,000.00元

5.拟成交供应商：江苏迈纳德微纳技术有限公司

6.拟成交价格：125,000.00元

电子与信息工程学院

2024年11月21日