一、采购单位：电子与信息工程学院

二、项目名称：Local CDS（供液系统）

三、公开信息：

1.设备名称：Local CDS（供液系统）

2.数量：1

3.关键技术指标：1.提供制程主设备所需使用之药液供应，人员将原液桶放入于供液柜区域并连接好 管路(使用特制快拆桶接头衔接)，于制程主设备操作屏幕中按下确认键(Ready)，当接收到制程主设备的要酸讯号，设备将自动供给化学品，经由双套管路到制程主设备配置的接点；2.提供乙醇、异丙醇、丙酮，共3款化学品，总共配置6个桶；3.上下双层布局；4.柜体设计：框架为高强度 304≧1.5T 不锈钢方管，包覆用SUS304 镜面板，尺寸1.5m*0.6m*2m；5.机台重量：280kg；

4.预算金额：190,000.00元

5.拟成交供应商：张家港市海航超声电气有限公司

6.拟成交价格：190,000.00 元

电子与信息工程学院

2025年12月01日