一、采购单位：纳米光子学研究中心

二、项目名称：电动耦合系统

三、公开信息：

1.设备名称：电动耦合系统

2.数量：1

3.关键技术指标：步进精度25nm

4.预算金额：149,000.00元

5.拟成交供应商：深圳市高艺科技有限公司

6.拟成交价格：135,000.00 元

纳米光子学研究中心

2025年11月25日