一、采购单位：电子与信息工程学院

二、项目名称：分析腔体

三、公开信息：

1.设备名称：分析腔体

2.数量：1套

3.关键技术指标：1、超高真空专用 2、真空度＜5*10-10mbar 3、预留多个接口可拓展光学技术联用 4、可适配超高真空SPM 5、包含4个CF35法兰接口，可进行气体引入

4.预算金额：183,900.00元

5.拟成交供应商：深圳市深凛科技有限公司

6.拟成交价格：183,900.00 元

电子与信息工程学院

2025年11月25日