一、采购单位：实验室与国有资产管理部

二、项目名称：匀胶旋涂系统采购

三、公开信息：

1.货物名称：匀胶旋涂仪：WS-650Mz-23NPPB；无油真空泵：Rocker 300

2.数量：1套

3.关键技术指标：1、系统概述 1.1 智能嵌锁，系统盖板具有智能嵌锁装置，确保操作安全； 1.2 防腐装置； ▲1.3设有保护气体装置：旋涂过程中对旋转马达进行气流保护； 1.4 通信接口，蓝牙连接 2、处理腔体 2.1 处理腔体内径不小于220毫米； 2.2 Wafer芯片尺寸满足10-150mm直径的材料，方片125x125mm，无需更换片托； 2.3 腔体具有易清洁的NPP天然聚丙烯材质； 3、旋转马达 3.1 转动速度至少满足0-12,000rpm， 3.2 旋涂加速度不小于12,000rpm/sec； 3.3 马达旋涂转速稳定性能误差不超过±1%； 4、控制系统 4.1工艺时间设定范围至少满足1-5999.9sec/step ，精度不超过0.1s； ▲4.2配有高精度PLC可编程的控制器，设置点精度小于0.006%； 4.3 可存储不少于20个程序段，每个程序段可设置不少于51个不同步骤的速度状态； ★4.4 转速精度≤1RPM，具有国际NIST标准认证，并且无需再校准； 5、配套无油真空泵：真空吸附范围25-28 英寸汞柱 (~635-711毫米汞柱)；

4.预算金额：68,000.00元

5.拟成交供应商：武汉迈可诺科技有限公司

6.拟成交价格：67,000.00 元

实验室与国有资产管理部

2025年11月19日