一、采购单位：电子与信息工程学院

二、项目名称：晶圆温控监测系统

三、公开信息：

1.设备名称：晶圆温控监测系统

2.数量：1

3.关键技术指标：兼容不同类型的晶圆片或者板级片，普通状态/真空环境下可按不同测温点要求定制各线段材质及长度，以及接头型式；范围：RT~1100℃

4.预算金额：190,000.00元

5.拟成交供应商：南杰智汇(深圳)科技有限公司

6.拟成交价格：190,000.00元

电子与信息工程学院

2024年10月31日