一、采购单位：电子与信息工程学院

二、项目名称：电镀沉积蚀刻清洗

三、公开信息：

1.服务内容：1、铜填孔 直径10um，孔深100um； CD20μm Pitch40μm 的Cu//Ni/SnAg凸点 2、刻蚀 深硅刻蚀100um深 3、孔壁镀膜 用PEALD在孔壁镀上一层50nm厚的TIN 4、清洗 去除表面污垢

2.服务期限：2025.8.11-2025.8.15

3.预算金额：73,955.07元

4.拟成交供应商：上海交通大学

5.拟成交价格：73,955.07 元

电子与信息工程学院

2025年11月04日