一、采购单位：机电与控制工程学院

二、项目名称：DBO/μDBO overlay研究测试用 Target/治具/工具建议服务

三、公开信息：

1.服务内容：1. 方案再确认评估：对甲方现行或拟议的关键实验方案进行合理性、可实施性与风险点评估，形成问题清单及优先级； 2. 测试 Target 建议：针对套刻/对准、光学量测或功能验证等需求，提出研究用测试标靶（如 DBO/μDBO overlay target、对准/标定 target 等）之设计原则、关键参数区间与布置建议（不含流片与加工交付）； 3.治具（夹具/工装）建议：提出用于样品固定、对准与测试的治具结构思路、接口与装夹方案、材料与公差建议、与既有设备/平台的适配性建议； 4.工具与系统建议：就传感器选型、边缘运算模组、接口与通信协议、量测/采集工具链提出选型与适配建议，含 BOM 级别建议与实施路径（不含采购与集成交付）。

2.服务期限：1年

3.预算金额：65,000.00元

4.拟成交供应商：台耀科技（福建）有限公司

5.拟成交价格：60,000.00 元

机电与控制工程学院

2025年10月22日