一、采购单位：机电与控制工程学院

二、项目名称：RigStar 全芯智造光刻精确仿真软件V1.0

三、公开信息：

1.服务内容：RigStar是全芯智造自主研发的对标S-litho的光刻工艺精确仿真软件。提供软件的使用权

2.服务期限：2025年10月15日-2026年10月14日

3.预算金额：67,800.00元

4.拟成交供应商：全芯智造技术有限公司

5.拟成交价格：67,800.00 元

机电与控制工程学院

2025年10月13日