一、采购单位：电子与信息工程学院

二、项目名称：等离子射频模块

三、公开信息：

1.设备名称：等离子射频模块

2.数量：1

3.关键技术指标：输入电压：AC220V，50/60Hz 输出功率：2W~200W ，连续可调，稳定性：± 1% 反射功率：70W 匹配：自动匹配，空气电容 直流电源工作气压范围：0~100Pa 冷却: 强制空气冷却 线圈直接：Φ110*180

4.预算金额：94,000.00元

5.拟成交供应商：安徽普若菲特材料科技有限公司

6.拟成交价格：94,000.00元

电子与信息工程学院

2024年10月21日