一、采购单位：高等研究院

二、项目名称：离子溅射仪

三、公开信息：

1.货物名称：离子溅射仪【磁控溅射仪】 SC-SU-I

2.数量：1

3.关键技术指标：最高溅射速度：8nm/min；整机功率：200W；设备可通气体：支持氩气，氮气等惰性气体

4.预算金额：85,000.00元

5.拟成交供应商：深圳君瑞汇科科技有限公司

6.拟成交价格：85,000.00元

高等研究院

2024年07月15日