一、采购单位：电子与信息工程学院

二、项目名称：低压CVD系统

三、公开信息：

1.设备名称：低压CVD系统

2.数量：1

3.关键技术指标：最大功率：380V 9KW 炉膛材质：高纯氧化铝多晶纤维材料+氧化铝涂层材料 炉膛结构：双层壳体加风冷隔热 加热元件：进口HRE高温合金电阻丝 可达温度：1200℃（<1 小时） 连续温度：1150℃（连续） 温度精度：±1℃。设备含四路质量流量控制器（量程分别为300,300,500,500sccm） 压差范围：0.05-0.4mpa 精度：±1% fs 重复精度：±0.2% fs 接口尺寸： φ6.35mm双卡套接头 连接管道： 采用洁净抛光的气路专用耐腐不锈钢管或耐腐蚀抗老化的聚四氟乙烯气管，对应的混气罐和阀门采用聚四氟乙烯材质

4.预算金额：180,000.00元

5.成交供应商：深圳市今浩仪器设备有限公司

6.成交价格：180,000.00元

电子与信息工程学院

2023年11月06日