一、采购单位：微纳光电子学研究院

二、项目名称：超高精度Z轴位移台

三、公开信息：

1.货物名称：超高精度Z轴位移台

2.数量：1个

3.关键技术指标： Repeatability:0.05um;Lost Motion:0.48um;Vertically:2.0um;Accumulated Lead Error:1.71um;

4.预算金额：89,500.00元

5.成交供应商：深圳欧特维光电科技有限公司

6.成交价格：89,500.00元

微纳光电子学研究院

2023年11月01日