一、采购单位：电子与信息工程学院

二、项目名称：分子外延生长腔体

三、公开信息：

1.设备名称：分子外延生长腔体

2.数量：1

3.关键技术指标：MBE腔体： 1.材质：304不锈钢，腔体经电解抛光及高温除氢处理； 2.腔体尺寸：直径不小于350mm； 3.法兰接口：CF40*6，用于安装样品台、蒸发源、离子源、观察窗等实验设备； 4.预留接口升级SPM系统； 5.极限真空度：优于5E-10 Torr 6.漏率：优于1.33×10-11 Pa?m3/sec； 7.误差：长度误差优于±1 mm，角度误差优于±1°。

4.预算金额：192,200.00元

5.成交供应商：中科艾科米（北京）科技有限公司

6.成交价格：192,200.00元

电子与信息工程学院

2023年08月23日