一、采购单位：电子与信息工程学院

二、项目名称：蒸发源

三、公开信息：

1.设备名称：蒸发源

2.数量：1

3.关键技术指标：K-cell蒸发源： 1.CF35安装法兰，工作温度80~1200℃，单源，手动挡板，K型热偶，PBN坩埚，坩埚容量1CC。根据腔体设计确认腔内长度 2.CF35安装法兰，工作温度1400℃，单源，手动挡板，C型热偶，PBN坩埚，坩埚容量10CC。根据腔体设计确认腔内长度 多功能温度控制器： 最大功率1600W，双路控温，每路输出电流20A，最大直流电压40V，温度稳定性±1℃，K/C型热偶，PID控制。

4.预算金额：192,600.00元

5.成交供应商：中科艾科米（北京）科技有限公司

6.成交价格：192,600.00元

电子与信息工程学院

2023年08月23日