采用单一来源方式采购的理由：

电子束光刻机（EBPG)采购于2016年，制造商荷兰为Raith B.V.，于2017年到货验收，仪器总金额为10964354元，维修期将于2024年3月11日到期。此台设备为微纳加工中非常重要的设备，现在不单止服务于校内用户，还为腾讯、哈工大等校外企业提供加工服务。

此设备信息化自动化集成度高，一旦有部分损坏往往会造成整套系统不能工作且维修昂贵，故需定期维护，以保障设备长期、稳定的运转。设备使用率极高，一旦损坏影响面大，需要在尽量短时间内修复。购买延保服务可获得厂家无限制额度的快速维修，省去了漫长的采购过程，是校级大型设备共享平台基础保障措施。

电子束光刻机设备精度高，结构部件复杂，其维保具有一定的复杂性。锐时科技（北京）有限公司是德国RAITH中国唯一子公司（证明文件如附件所示），是唯一可以提供此台设备维保服务的供应商，配件和服务均由德国原厂提供和培训，没有其他国内外供应商可以开展相应的售后服务，单一来源的采购方式合理。综上所述，该采购项目属于《深圳经济特区政府采购条例》第二十一条第一款第（四）项规定“其他具有复杂性、专门性、特殊性的项目，且只有唯一供应商的”的情形。现申请采用单一来源方式采购，拟定的供应商为深圳市弗劳恩科技服务有限公司。