采购项目描述:(内容、数量、用途、简要技术需求等)
电子束光刻机(EBPG)于2017年到货验收,仪器总额为10964354.00。设备的延保期至2021年11月28日到期。此台设备在微纳加工领域承担着重要得角色,随着设备技术得成熟,现在除了服务校内用户,还服务腾讯、华为及哈工大等校外用户。此项购买的延保服务能让设备高效运行得到很好得保障。延保服务包括以下内容:
1、每年一次预防性维护,预防性维护内容包括初步检查和任何后续行动、真空系统和泵检查、电子检查、性能检查。
2、六次维修访问(现场服务不超过 240 个工时),包含差旅费。
维修内容:修复由于正常磨损造成的缺陷和诊断和修复客户报告的阻止用户继续正常运行系统的故障。
3、系统控制软件:Raith 将在合同期间提供系统控制软件 BEAMS 的所有更新版本。
4、优先响应服务:接到故障保修信息后,线上(电话、微信、邮件等)回应须在24小时内,须到场处理的情况须在72小时内到场处理。
5、本期含零配件额度82000元(8000欧元)。
6、维保服务期为两年,2021年11月29日至2023年11月28日 |