依照《深圳经济特区政府采购条例》第二十一条第一款第（四）项规定，机电与控制工程学院申请 定制化非球面镜头机器人纳米研磨工作站 采用单一来源方式采购，现将有关情况向潜在供应商征求意见：

采购项目名称：定制化非球面镜头机器人纳米研磨工作站　

项目预算金额：155万元（人民币）

采购项目描述：

采购设备“定制化非球面镜头机器人纳米研磨工作站”一台。本设备为深圳市基础研究重点项目合同中约定的采购设备，为定制化的精密设备，进行光刻机镜头的纳米级研磨。

技术需求；

1.  该设备用于非球面镜头的研磨；

2.  研磨机器人的其正前方500mm运动范围内重复定位精度为0.02mm；

3.  采用ABB力控系统，力传感器精度≤6N，分辨率≤0.1N;

4.  转台在半径500mm时，重复定位精度±0.07mm；

产品工装机械定位重复定位精度≤0.02mm；

拟定供应商名称：上海ABB工程有限公司（与营业执照上完全一致），地址：上海市（供应商的注册地址）

申请理由及相关说明：

拟采购设备“定制化非球面镜头机器人纳米研磨工作站”用于中端光刻机镜头的国产化研发。为避免国外专用机床加工的技术路线，该项目创新性地提出基于高精度智能机器人的非球面镜头纳米研磨技术路线。在对光刻机镜头进行纳米级研磨时，研究目标要求研磨加工压力≤50N，研磨加工压力误差≤5%，非球面镜头最大加工直径≥300mm，研磨头空间定位精度≤20mm等，对设备的加工精度、误差和稳定性都有极高要求。

另外，此设备在安全方面采用安全光栅作为防护，光栅与整机设备安全互锁，当检测信号触发时，整个设备停机，可防止安全事故发生。设备工装部分采用气动夹具，设备主气路已安装气源过滤器，所需气压在0.5-0.8MPa之间的稳定气源，气源配置空气干燥器，且定期点检设备气源过滤器，可防止未达标气体进入执行机构、损坏气动夹具。设备工艺方面采用湿抛，设备不使用特殊的气体液体，设备无需特殊防护，即使长时间运行其稳定性依旧十分好，在安全性、可靠性方面也能得到保障。

最后，采购设备“定制化非球面镜头机器人纳米研磨工作站”的公司在中国香港、深圳、北京、上海等地均设有分公司及售后服务中心，因此在售后维修方面也十分方便。

综合以上几点所述，项目需要采购与ABB公司合作定制的“定制化非球面镜头机器人纳米研磨工作站”设备且配备项目规划的定制化研磨技术路线，才有可能实现项目的研发目标。

征求意见期限：从2022年11月04日起至2022年11月10日止

联系方式：

　　采购人:郭登极（ 机电与控制工程学院）

　　地址：深圳市南山区南海大道3688号

　　联系电话：13590368407

采购执行部门：深圳大学招投标管理中心

　　地址：深圳市南山区南海大道3688号 办公楼240室

联系电话：26531129

电子邮箱：zhaobiao@szu.edu.cn

备注：潜在供应商对公示内容有异议的，请于公示之日起至期满后两个工作日内以实名书面（包括联系人、地址、联系电话）形式将意见反馈至深圳大学招投标管理中心和采购人。