采购单位: | 深圳大学 |
项目名称: | 多腔匀胶显影机 |
预算金额(元): | 3,100,000.000 |
采购品目: | 其他仪器仪表 |
采购需求概况: | 本设备目的是能够支持学生学习半导体制造过程中的光刻胶旋涂、烘干和显影的操作技能,以及多个胶泵协同的多路光刻胶的工艺,并支撑半导体制造工艺科研项目研发等需求,适用4/6/8寸硅及玻璃晶圆的匀胶显影机。 |
预计采购时间: | 2025-10 |
联系人: | 党老师 |
联系电话: | 0755-89837623 |
备注: | 无 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准
源网址:http://zfcg.szggzy.com:8081/gsgg/002001/002001001/002001001002/20250828/362f9e88-2b30-4244-b0ab-552845707a3f.html