| 采购单位: |
深圳大学 |
| 项目名称: |
玻璃通孔清洗系统 |
| 预算金额（元）: |
8,000,000.000 |
| 采购品目: |
电子工业生产设备 |
| 采购需求概况: |
该项目需包含清洗设备和强碱供液系统。该项目所含的清洗设备用于硅片或玻璃基板的湿法清洗，需满足标准RCA（SC1/SC2）工艺要求；清洗设备需具备多槽式设计，支持去离子水冲洗、氮气干燥等功能；清洗设备需具备板级及晶圆级兆声系统、超声系统、清洗系统、干燥系统、自动传送系统，清洗设备兆声清洗功率需≥1200W，且所有系统均兼容8英寸晶圆和510mm*515mm玻璃基板。该项目所含的强碱供液系统用于玻璃通孔的湿法清洗与刻蚀。 |
| 预计采购时间: |
2025-5 |
| 联系人: |
陈老师 |
| 联系电话: |
13766359881 |
| 备注: |
无 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准
源网址：http://zfcg.szggzy.com:8081/gsgg/002001/002001001/002001001002/20250424/35efd2a7-58a1-4801-bdaf-ce7b557b499a.html
